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OPTM series 嵌入型

OPTM series 嵌入型

利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。...

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產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品信息
  • 式樣

產(chǎn)品信息

特 點

●膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

●膜厚值高重復(fù)精度

●1點1秒以內(nèi)的高速測量

●最小小點Φ3μm)中瞄準模式

●最適合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準用圖像

裝置組裝示意圖

1.png

測量數(shù)據(jù)示意圖


2.png


測量光點周邊圖像

3.png


適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等


式樣

4.png




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